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上海HMDS涂膠高溫烘箱應用領域：在光刻工藝中，對硅片、晶元等基片的烘烤和表面進行HMDS的處理。作用：經過HMDS處理的晶元硅片降低了硅片接觸角，進而降低了光刻涂膠時膠在硅片表面的勻開的難度，，提高了光刻膠和硅片 晶元的粘附性，降低了光刻的用量，提高了涂膠的均勻性。

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